九州電通株式会社

水晶振動子・水晶発振器・水晶フィルタ
CRYSTAL UNITS・CRYSTAL OSCILLATORS・CRYSTAL FILTERS

シリコンウェハ再生 Silicon Wafer Reclaim

ドライエッチング技術 Technology of Dry Etching

九州電通のプラズマエッチングは、イオンダメージが少ない独自のプラズマドライプロセスを用いて、 ウェハー表面を忠実に再現するシリコンウェハ再生処理技術です。 シリコンウェハの再生依頼やエッチング装置の開発・販売も行っておりますので、お気軽にお問い合わせください。

KDKプラズマエッチングの特徴1 Plasma Etching Feature1

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KDKプラズマエッチングの特徴2 Plasma Etching Feature2

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プラズマエッチング前後 Plasma Etching Before After

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プラズマエッチング前
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plasma
プラズマエッチング後

KDKプラズマエッチング特徴まとめ Plasma Etching Feature Summary

プラズマエッチング装置 Plasma Etching Machine

12インチ対応 全自動プラズマエッチング装置(自社製)

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プラズマエッチング装置(試作機)
plasma
プラズマチャンバー3台を一体化した12inch対応全自動プラズマエッチング装置(量産機)

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